单晶硅片黑心片现象的原因是什么，哪些方面对其有影响？

2025-04-05 15:05:34

推荐回答（4个）

回答（1）：

你说的现象叫花片，形成因素很多，主要原因就是就是沾污，因为在加工过程中，抛光以后的硅片表面是断裂的原子硅键，很容易吸附金属离子并且根本无法完全通过清洗洗掉。或者存放时间太长，真空包装出现问题，外界有灰尘渗入吸附在硅片表面，也会出现这种情况。还有就是抛光过程中中心部位的压力有问题，导致中心去除量不够，表面微粗糙度很差，在半导体级别光照射下，硅片中心也会出现黑色现象。预防措施就是在超净环境内，间接或直接接触硅片的过程中，不能有任何金属物件，尤其不锈钢，是坚决不能出现的。出现了硅片肯定完蛋了！一定要保证化学清洗液的洁净度，配比正确，否则清洗不掉残留在硅片表面也会出现花片现象。检查抛光机抛光头，校准压力。还有，出现黑心的硅片不能去流片，属于报废硅片，应退回原厂查找原因。

回答（2）：

回答（3）：

应该是生产过程中控制不好，导致原材料多晶硅没有完成转变为单晶硅
生产过程中的温度、速度、转速等都应该有很大的影响

回答（4）：

生产过程中控制不好
原材料多晶硅没有完成转变为单晶硅.
生产过程中的温度、速度、转速等有很大的影响.