工业气体3MS的物理性质及中文名是什么？高手帮忙，O(∩_∩)O谢谢！！！！！！！！！！！！

还有它的化学构成，英文名什么？网上收了好久没找到。

2025-04-13 00:12:05

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回答（1）：

三甲基硅烷，Trimethylsilane，tri=3，methy=m，silane=s

三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物，化学式为C₃H₁₀Si，结构简式(CH₃)₃SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

分子式： C3H10Si

回答（2）：

这种气体是半导体原料气体，主要用于清洗管道。读譬。

回答（3）：

3MS，没见过，是那种气体啊？