为什么 单晶硅用石英坩埚涂氢氧化钡 多晶硅用石英坩埚涂氮化硅? 两种不能互换吗?会有什么后果?

2025-01-05 08:00:45
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回答(1):

可以的,他们的主要作用存在很多的共性,氢氧化钡的特点主要倾向于隔离石英坩埚游离金属的,防止析晶,氮化硅则特点是抗软化性比较好,尤其是用无水乙醇配浆涂层的氮化硅致密性高,如果坩埚有的石英砂纯度比较高的话(99.6%以上),建议还是用氮化硅效果好

回答(2):

氢氧化钡分为一水和八水的,用于石英坩埚润滑的必须是八水的效果最佳,至于多晶硅还有另外一种试剂

回答(3):

不能

回答(4):

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