256光电管阵列四象限CMOS光电传感器研究
摘要：基于硅光电传感的象限传感器广泛应用于激光的瞄准、制导、跟踪，搜索装置，精密测量，如激光微定位、位移监控、精密机床的光电控制等领域。传统的硅象限传感器主要采用四象限，八象限的结构，采用焊接的方式将分别制造的感光象限和电路结合在一起，不能实现感光象限与信号处理电路的单芯片集成，难以实现器件的微型化和系统优化；同时，传统象限传感器的感光象限单元数量较少，获取的目标信息有限，难以实现对目标的坐标位置获取、形状识别等功能。 在本研究中，将传统的象限传感器与当前迅速发展的CMOS图象传感器相结合，提出了使用有源传感阵列感光的256单元光电管阵列四象限CMOS光电传感器。该传感器的感光单元采用了CMOS图象传感器中使用的有源像素传感器(Active Pixel Sensor，APS)设计，在感光单元内部由光电信号预处理电路直接将传感产生的光电信号转化为幅度较大的电信号输出，避免了对微弱信号的处理，降低了噪声的影响。传感器应用阵列采集光信号，可以直接确定目标光源的坐标位置并实现一步到位的快速调整。传感器使用标准CMOS工艺制造，将传感阵列与信号处理电路...
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