(Ⅰ)取AB的中点为M,连接EF,EM,CM,
∵E是A1B的中点,F是棱CC1中点,
∴EM∥AA1,FC∥AA1,EM=FC=
AA1,1 2
则四边形EMCF是平行四边形,∴EF∥CM,又∵△ABC为正三角形,侧面AA1C1C是正方形,
∴AA1=AB,∴AE⊥A1B,CM⊥AB,
∵侧棱AA1⊥平面ABC,∴CM⊥AA1,∴CM⊥平面A1AB,
∴EF⊥平面A1AB,∴EF⊥AE,
又∵AE⊥A1B,A1B∩EF=E,∴AE⊥平面A1FB.…(6分)
(Ⅱ)设正方形AA1C1C的边长为x,
由于E是A1B的中点,△EAB的面积为定值.
∵CC1∥平面AA1B,∴点F到平面EAB的距离为定值,
即为点C到平面平面AA1B的距离,
又VE-EABF=VF-ABE,且VF-ABE=
S△ABE?h=91 3
.
3
即
?1 3
?x?1 2
x=9
3
2
,解得x3=216,即x=6.
3
∴正方形的边长为6.…(12分)