臭氧发生器安装位置有以下几种方法：1. 壁挂式或移动式放在单独房间内2. 组装在空调机组中3. 在总送风管道内4. 在总回风管道内5. 单独设置，只将排气口插入（回）风管道内现在都多采用第五种方式，称为外置式臭氧发生器。它由一套臭氧发生器产生臭氧，可同时或分时段对一个或多个洁净车间进行消毒灭菌。
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