1ASD=10ASF
理论计算公式:
厚度=100*电化当量*电流密度*电镀时间*电流效率/(60*金属密度)
其中:
一价铜离子电化当量为2.371g/(A.H)
二价铜离子电化当量为1.186g/(A.H)
电流密度单位ASD(A/Dm2)
电镀时间单位为min
电流效率理论值为100%
铜的密度为8.92g/cm3
所以,若电流效率按100%算,可得一下公式:
一价铜电镀厚度=0.44*电流密度*电镀时间
二价铜电镀厚度=0.22*电流密度*电镀时间
理论10min*2ASD可镀二价铜厚度为4.4um
用10min*2ASD实际操作,通过切片切铜厚度可知实际平均厚度为3.9um
可推出一般的电流效率为88.64%