三琦高温四探针夹具是依据电性能测量四探针方法、并针对高温环境进行设计。由四个独立的探针调节装置、高温高频探针、调节支撑架、样品平台、隔热层、接线盒组成。
探针调节装置具有三维精确调节功能,精确定位探针的位置;
探针调节装置具有粗调功能,有效增大探针的调节范围;
探针调节装置带探针压力调节功能,确保探针与样品的良好接触,又不损伤样品;
探针采用带同轴屏蔽层设计,减少电磁对测量的干扰;
探针电极选用铂铱合金,有效减少接触电阻,并具有良好的高温抗氧化能力;