制备薄膜材料主要技术，常用镀膜技术之一，气体放电现象，材料蒸发沉积形成薄膜，一种镀膜新技术，一个独立的学科，金属材料改性的技术，X射线衍射，釆用独特的调制技术，常用的镀膜技术之一，超l00khz频率的电磁波，获得离子束的装置。
